傳感器類型

熱式繞線型

閥         門

比例電磁閥（斷電時關閉）

適用氣體※1

干燥的兼容性氣體

量         程※2

10、30、50、100、300、500SCCM，

1、3、5、10 SLPM

30 SLPM

控制范圍

2~100%FS

響應時間

＜1s

精         度

±1%SP（10～100%FS）；±0.1%FS（2～10%FS）

重  復  性

± 0.2%FS

動作壓差

L型

50~149 KPa

50~199 KPa

H型

150~300 KPa

200~300 KPa

入口最大壓力

300KPa（G）

最大耐壓

1MPa（G）

外部泄漏率

＜1.0x10^-11pa*m³/sec（He）

溫度

允許環境溫度

5~50 ℃

精度保證溫度

15~40 ℃

允許保存溫度

0~60 ℃

允許環境濕度

0~80%RH（未冷凝）

接液材質

316L、PTFE、Au、Co-Ni

密封材料

SUS316L、Au

電氣連接

RS485

DB9M接頭、RJ-45模塊化插孔x 2

DeviceNet?/EtherCAT?

M12型5芯接頭

模擬流量設置信號（只限RS-485）

0～5VDC（輸入阻抗約1MΩ）

或 4～20mA（輸入阻抗約250Ω）

模擬流量輸出信號（只限RS-485）

0～5VDC（負載電阻1MΩ以上）

或 4～20mA（負載電阻250Ω以下）

數字通訊

RS485/DeviceNet?/EtherCAT?

所需電源

11-25VDC，（5VA max）

過程接口

1.125"W型92 mm或1/4"VCRM

安裝方向

建議水平方向

重         量

約1000 g